采用聯(lián)苯四羧酸二酐(PMDA)和對苯二胺(PDA)為二酐和二胺,以N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)為溶劑制備了聚酰胺酸溶液(PAA).采用旋涂工藝,以K9玻璃或調(diào)制模版為襯底,制備了聚酰亞胺(PI)平面/調(diào)制薄膜.對其厚度、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和表面調(diào)制圖形進(jìn)行了測量,研究了其厚度與旋涂速度和PAA溶液濃度的對應(yīng)關(guān)系.

結(jié)果表明,PAA溶液在馬弗爐中進(jìn)行370℃熱處理,可以完全轉(zhuǎn)化為PI;通過旋涂法制備PI平面薄膜的平均粗糙度Ra的最大值和最小值分別為3.7 nm和3.1 nm;PI平面薄膜最小厚度為1μm,且其厚度隨著旋涂速度增大而減小,隨著PAA溶液濃度的增大而增大;PI調(diào)制薄膜的周期和振幅分別為100μm和4.8μm,在調(diào)制圖形轉(zhuǎn)移過程中,周期不變,而振幅存在0.2μm的轉(zhuǎn)移誤差.

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